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热式气体质量控制器优势

型号:

产品时间:2019-11-14

简要描述:

热式气体质量控制器优势质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气

详细介绍

热式气体质量控制器优势

工作原理

气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。

热式气体质量控制器优势

开机操作检查各设备连接处应无泄漏现象,,气源的温度和压力应稳定,按照产品说明电路连接正确之后通电。

与流量显示仪连接

开机操作之后,先将流量显示仪的阀开关置到“关闭”位,将设定值调到零,再开气,待零点稳定后,再转到“阀控”位,然后设定值调到需要的流量值,则实际流量值会跟随设定值而变化

与计算机连接

开机操作之后,通过RS485与计算机通讯,之后在计算机上将设定值调到零,再开气,待零点稳定后,再通过计算机将设定值调到需要的流量值,则实际流量值会跟随设定值而变化。

关机操作

先断气,再将设定值调到零,然后断电

 


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