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惰性气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的,该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便,测量准确等优点,利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成,一个是速度传感器RH,一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时,其中传感器RH被加热,另一个传感器RMG用于感应被测气体温度,随着气体流速的增加,气流带走更多热《查看更多》
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